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主要技術指標
| 品名 | ITO靶材 | ||||||||
| 成分 | In?O?:SnO?(90:10±0.5wt),其他比例按客戶要求 | ||||||||
| 外觀 | 黑色或黑灰色，片狀或管狀等其他形狀 | ||||||||
| 純度% | ≥99.99% | ||||||||
| 相對密度 % | ≥99.5% | ||||||||
| 制造規格（m m） | 最大尺寸1200*300的平面靶，Φ136*Φ152*L400mm的管狀靶 | ||||||||
| 電阻率（mΩ.cm） | ≤1.8×10??Ω?cm | ||||||||
| 雜質不大于 | Fe | Al | Si | Ni | Cu | Pb | Cr | 總和 |
|
|
|
15 | 10 | 15 | 5 | 5 | 5 | 5 | 100 |
|
ITO旋轉靶
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